原子层沉积（ALD）与Showerhead（匀气盘/气体分配盘）

半导体行业：原子层沉积（ALD）

半导体制造中的刻蚀工艺（Showerhead/匀气盘/气体分配盘）

干法刻蚀与Showerhead（匀气盘/气体分配盘）的关系解析

Showerhead（喷淋头/匀气盘/气体分配盘）表面处理：洁净度与寿命的双重优化

精工铸芯：Showerhead高精度制造与半导体工艺的协同进化

Showerhead喷淋头控流：减离子硬碰撞，降晶格损伤

半导体零部件Showerhead中文名叫喷淋头、气体分配盘或匀气盘

半导体零部件Showerhead喷淋头分配盘或匀气盘有什么作用？

半导体Fab中关键工序加工技术

半导体金属化：沉积与单层系统标准（二）

半导体金属化：沉积与单层系统标准（一）