金属表面处理是制造业的基础技术，其目标已从传统的防腐蚀、耐磨扩展至提升光学性能、电学性能及生物相容性等高端领域。随着新能源汽车、航空航天与微电子产业的爆发，物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、激光表面处理等现代表面技术正引领新一轮技术革命。一、现代表…
时间：2025-09-23
在半导体制造的精密世界中，Showerhead（喷淋头/气体分配盘）作为气体分配系统的核心部件，其性能直接决定了晶圆表面薄膜沉积的均匀性、刻蚀精度及等离子体分布的稳定性。随着先进制程向3nm及以下节点推进，Showerhead的制造技术正面临前所未有的挑战，而全球企业正通过材料创…
时间：2025-09-23
在半导体制造的复杂工艺中，气体通道设计技术犹如精密的血管系统，将反应气体精准、均匀地输送到晶圆表面，直接影响着薄膜沉积的质量、刻蚀的精度以及等离子体的稳定性。随着先进制程向3nm及以下几点推进，对气体通道设计技术提出了更高的要求，促使行业不断探索创新，以实现更…
时间：2025-09-23
在半导体制造的微观世界里，Showerhead（喷淋头/气体分配盘）宛如一位精准的气体指挥家，通过其表面数以万计的微孔阵列，将反应气体均匀地喷射到晶圆表面，直接影响着薄膜沉积的均匀性、刻蚀精度以及等离子体分布的稳定性。随着先进制程向3nm及以下节点推进，Showerhead的微孔…
时间：2025-09-23
微孔加工技术，作为精密制造领域的核心技术之一，广泛应用于半导体、航空航天、医疗、电子等多个高科技行业。随着科技的不断进步，微孔加工技术也在不断创新和发展，从传统的机械加工、电火花加工到现代的激光加工、复合加工等，技术不断突破，精度和效率持续提升。一、传统微…
时间：2025-09-23
在半导体制造领域，Showerhead（喷淋头/气体分配盘）作为气体分配系统的核心部件，其性能直接决定了晶圆表面薄膜沉积的均匀性、刻蚀精度及等离子体分布的稳定性。随着先进制程向3nm及以下节点推进，Showerhead的微孔加工精度要求已提升至亚微米级，孔径一致性需控制在0.5μm以…
时间：2025-09-23
引言在半导体制造的极端环境下，Showerhead需同时承受高温（>600℃）、等离子体轰击和腐蚀性气体（如Cl₂、BCl₃）侵蚀。表面处理技术不仅决定其使用寿命，更直接影响晶圆良率。从硬质阳极氧化到复合涂层，材料科学的突破正在重塑这一核心部件的性能边界。一、金属Showerhe…
时间：2025-09-12
引言在半导体制造的微观世界中，Showerhead（喷淋头/气体分配盘）作为核心气体分配部件，其性能直接决定了晶圆表面薄膜的均匀性、台阶覆盖率及颗粒缺陷密度。随着3nm以下逻辑芯片和400层以上3D NAND存储技术的突破，Showerhead的加工精度已进入纳米级领域，成为制约先进制程良…
时间：2025-09-12
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