喷淋头（Showerhead）作为等离子体增强化学气相沉积（PECVD）工艺中的核心部件，其设计直接决定了薄膜沉积的均匀性、工艺稳定性和设备寿命。本文从喷淋头的核心功能出发，分析其在PECVD工艺中的技术作用，并结合行业趋势探讨未来面临的挑战与解决方案。一、PECVD喷淋头：薄膜沉…
时间：2025-04-17
Showerhead在薄膜制备中的作用气体均匀分布：在化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）等薄膜制备过程中，Showerhead用于将反应气体均匀分布到晶圆表面。其结构设计（如孔径、孔密度、分布方式）直接影响气体的均匀性，进而影响薄膜的厚度均匀性和成分一致性。温度和压力控…
时间：2025-04-15
半导体产业链自主可控逐步向上游推进，零部件预将进入国产替代爆发期。半导体零部件处于芯片制造产业链上游，在半导体设备营业成本中半导体零部件占比近90%，全球半导体零部件市场2022 年约3861 亿元，其中中国大陆市场2022 年为1141 亿元。近年来美国等国家意图限制中国大陆先…
时间：2025-04-14
Shower Head（淋浴喷头式气体分配器）通常紧贴反应区的上部，并作为气体入口，将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。主要作用体现在以下几个方面：均匀气体分配作用原理：Shower Head 的设计结构能够将反应气体均匀地分散并喷洒到晶圆表面。它通常具有多个细小的气孔…
时间：2025-04-09
半导体设备的升级迭代在很大程度上依赖于精密零部件的技术突破。作为半导体设备的基石，半导体设备零部件支撑设备行业的发展。精密零部件也是半导体设备制造环节中难度较大、技术含量较高的环节。在高技术壁垒下，成为半导体产业中的“卡脖子”环节之一。从供应链角度来看，零…
时间：2025-04-09
Showerhead，中文名称为喷淋头或者叫气体分配盘或匀气盘，被广泛应用半导体制造过程中的 PVD、CVD、刻蚀等工艺流程中，是各类气体分配过程中的关键零部件。它主要用于将气体均匀地分配到反应腔中，以确保半导体材料在反应过程中能够与气体均匀接触，提高生产效率和产品质量。S…
时间：2025-04-07
纳米技术是一个高度跨学科的领域，涉及在纳米尺度上精确控制和操纵物质。集成电路（IC）作为已经达到纳米级别的重要技术，对社会生活产生了深远影响。晶体管器件的关键尺寸在过去数十年间不断缩小，如今已经接近10纳米甚至更小。这种技术进步使得每个芯片可以容纳更多的器件，…
时间：2025-03-06
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