半导体零部件Showerhead喷淋头分配盘或匀气盘有什么作用？
2025/7/2 14:15:53   来源：    点击：45

一、Shower head是什么？

如上图，Showerhead，又可翻译为气体分配盘或匀气盘等，Showerhead通常紧贴反应区的上部，并作为气体入口，将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。当然并不是仅仅只有气体分布的功能，有的设计好可以用来充当电极的一部分。

二、Shower head的作用？

Shower head表面布满了密密麻麻的小孔，反应气体流入后，会被均匀地分成若干份，并以一致的流速传输到晶圆上方，使反应气体均匀覆盖整个晶圆表面，以便生成更均匀的镀层。当Showerhead作为电极的一部分时，射频电源在其表面产生均匀的电场，能够形成均匀的等离子体。

三、一般用什么金属来做shower head？

最常见的是铝金属，因为其具有较高的热导率及抗腐蚀能力。也可以用石英或陶瓷来做shower head。

安徽博芯微半导体科技有限公司，为核心组件提供高精度Showerhead服务，产品主要包括Shower head、Face plate、Blocker Plate、Top Plate、Shield、Liner、pumping ring、Edge Ring等半导体设备核心零部件，产品广泛应用于半导体、显示面板等领域，性能卓越，市场认可度高。

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