一、Shower head是什么?
如上图,Showerhead,又可翻译为气体分配盘或匀气盘等,Showerhead通常紧贴反应区的上部,并作为气体入口,将反应气体通过其表面的小孔均匀地注入到腔体内。当然并不是仅仅只有气体分布的功能,有的设计好可以用来充当电极的一部分。
二、Shower head的作用?
Shower head表面布满了密密麻麻的小孔,反应气体流入后,会被均匀地分成若干份,并以一致的流速传输到晶圆上方,使反应气体均匀覆盖整个晶圆表面,以便生成更均匀的镀层。当Showerhead作为电极的一部分时,射频电源在其表面产生均匀的电场,能够形成均匀的等离子体。
三、一般用什么金属来做shower head?
最常见的是铝金属,因为其具有较高的热导率及抗腐蚀能力。也可以用石英或陶瓷来做shower head。
安徽博芯微半导体科技有限公司,为核心组件提供高精度Showerhead服务,产品主要包括Shower head、Face plate、Blocker Plate、Top Plate、Shield、Liner、pumping ring、Edge Ring等半导体设备核心零部件,产品广泛应用于半导体、显示面板等领域,性能卓越,市场认可度高。
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