1、PECVD成膜原理介绍传统CVD技术虽能实现高精度薄膜,但800℃以上的沉积温度却让热敏材料望而却步。如何在低温下实现高效、高质量的薄膜沉积?PECVD通过引入等离子体进行反应,将沉积温度降至100~400℃,同时通过活性粒子加速反应,使沉积速率提升10倍以上。2、等离子体在PEC…...
半导体材料是现代电子工业的基石,其性能直接决定了电子器件的效率、功耗和可靠性。从第一代硅基材料到第四代超宽禁带半导体,每一次材料体系的革新都推动了信息技术的跨越式发展。本文将系统解析四代半导体材料的物理特性、技术突破与应用场景,揭示其背后驱动产业升级的逻辑…...
在半导体制造及相关金属加工领域,晶圆电镀、电铸和电解是常见但容易混淆的工艺,它们在原理、应用场景、工艺参数等方面存在显著区别。晶圆制程哪些工序会用到电镀?如下表,部分工艺的电镀需求。电镀,电铸,电解的区别?三种工艺的英文名称为:electroplating, electroformi…...
一、市场规模现状与增长趋势近年来,随着国内半导体产业的蓬勃发展,半导体设备及零部件市场呈现出快速增长的态势。Showerhead 喷淋头作为半导体制造过程中的关键零部件,其市场规模也随之不断扩大。从全球半导体设备市场来看,根据相关行业研究报告,近年来全球半导体设备市场…...
Showerhead 喷淋头的材料特性与性能对比半导体制造领域,Showerhead 喷淋头作为关键部件,其材料选择对性能和成本有着深远影响。目前,主流的喷淋头材料为硅(Si)和碳化硅(SiC)。硅材料制成的喷淋头,具有极高的制造精度。硅作为一种成熟的半导体材料,在微纳加工领域有着丰…...
在快节奏的现代生活里,健康已成为人们愈发珍视的宝藏。5月17日,一场由安徽博日工会主办,富乐德长江、微芯长江、安徽博芯微协办的“湖光绿动、FUN开跑”——“奔跑长江 安徽领航”健康跑活动,在风景如画的西湖湿地公园激情上演,安徽博芯微深度参与其中,为企业精神注入新的…...
凝“芯”聚“链”,勇立“潮”头。5月8日上午,由中国半导体行业协会指导,浙江省半导体行业协会主办的2025中国浙江(海宁)半导体装备及材料博览会在海宁会展中心开幕。本届博览会作为浙江省首届半导体领域博览会,实行线上线下同步展示,设置晶圆制造设备、封装测试设备、化…...
在半导体制造工艺中,Showerhead(喷淋头) 及其同功能部件匀气盘、气体分配盘是晶圆制程中的关键零部件,尤其在化学气相沉积(CVD)、原子层沉积(ALD)等薄膜沉积工艺中,其性能直接影响晶圆良率、膜层均匀性和设备运行效率。以下从技术原理、结构功能、应用场景及发展趋势四…...
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