复合加工工艺：Showerhead制造的“精度倍增器”
2026/1/2 14:14:50   来源：    点击：17

在半导体制造的精密加工领域，单一技术往往难以满足复杂需求，而复合加工工艺通过融合多种技术优势，正成为Showerhead制造的“精度倍增器”。

技术融合：1 + 1>2的协同效应

复合加工工艺的核心在于将不同技术的优势结合，实现精度与效率的双重提升。例如，美国相干（Coherent）公司开发的“激光 + 离子束”复合加工系统，先通过飞秒激光快速成型微孔，再以离子束对孔壁进行纳米级修正，将孔径偏差从±0.5μm缩小至±0.1μm，表面粗糙度 Ra<0.05μm，满足 3nm 制程需求。

行业实践：安徽博芯微的创新突破

安徽博芯微在复合加工工艺应用于 Showerhead 制造方面取得了令人瞩目的创新成果。其研发团队深入钻研，成功开发出一套“飞秒激光 + 原子层沉积（ALD）”的复合加工工艺。

在实际生产中，安徽博芯微先利用飞秒激光的超高精度与“冷加工”特性，在 Showerhead 材料上快速且精准地成型微孔阵列。飞秒激光脉冲宽度仅 10⁻¹⁵ 秒，能量释放时间极短，有效避免了材料热损伤，为后续加工奠定了良好基础。

随后，采用原子层沉积技术对微孔进行精细处理。ALD 技术能够以原子级别的精度在孔壁沉积特定材料，实现对孔径的进一步微调与孔壁表面的优化。通过精确控制沉积参数，安徽博芯微成功将孔径偏差缩小至±0.08μm，较传统单一工艺有显著提升，同时使表面粗糙度 Ra<0.04μm，达到了行业领先水平，完全能够满足 3nm 及以下先进制程对 Showerhead 精度的严苛要求。

这一创新工艺已成功应用于 12 英寸 Showerhead 的量产。在量产过程中，不仅保证了产品的高精度，还大幅提升了生产效率。与进口产品相比，单件成本降低了 30%，有效增强了产品在市场中的竞争力，有力推动了国内半导体制造产业链的国产化进程，降低了对国外高端产品的依赖。

内容来源：《复合加工技术前沿》《半导体设备行业研究》