Showerhead微孔加工的“革命性工具”
2026/1/1 14:11:51   来源：    点击：20

在半导体制造的精密加工领域，飞秒激光因其“冷加工”特性，正成为Showerhead微孔加工的革命性工具。其超短脉冲特性可避免热影响区，实现亚微米级精度加工，为先进制程的落地提供了关键支撑。

技术优势：冷加工的精度与效率

飞秒激光的脉冲宽度仅 10⁻¹⁵ 秒，能量释放时间极短，可实现“冷加工”，避免材料热损伤。在 Showerhead 制造中，飞秒激光可加工高硬度材料（如碳化硅），孔径偏差≤±1μm，孔壁粗糙度 Ra<0.2μm，加工效率较传统 EDM 提升 3 倍以上。

行业应用：从实验室到量产的突破

安徽博芯微在飞秒激光应用于 Showerhead 微孔加工领域成果斐然。其研发团队攻克多项技术难题，成功开发出适用于 Showerhead 制造的飞秒激光加工系统。

该系统已实现 12 英寸 Showerhead 的稳定批量生产。在实际生产中，单件加工时间从传统工艺的 12 小时大幅缩短至 2 小时以内，生产效率得到质的飞跃。同时，得益于飞秒激光的高精度加工特性以及安徽博芯微对工艺参数的精准把控，产品良率显著提升，综合成本降低 40%以上。

不仅如此，安徽博芯微还通过持续创新，将加工精度提升至±0.4μm，优于行业平均水平。并且其设备实现了与化学蚀刻等多种工艺的无缝衔接，构建起一套完整、高效的 Showerhead 制造解决方案。这一成果有力地推动了产业链国产化进程，使国内相关产业链国产化率从 15%提升至 40%，有效降低了国内半导体制造企业对国外技术的依赖，提升了我国半导体产业在全球市场的竞争力。

内容来源：《激光加工技术白皮书》《半导体设备国产化研究》