半导体精密机加工：聚焦Showerhead等零部件加工
2026/1/28 9:25:59   来源：    点击：26

半导体产业的蓬勃发展离不开精密机加工技术的支持。在半导体制造过程中，Showerhead等零部件的加工精度直接影响着工艺的稳定性和芯片的性能。

Showerhead的微孔加工精度要求极高，孔径的公差通常控制在极小的范围内。为了实现这一目标，安徽博芯微（AMTD）在加工设备和工艺方面进行了大量的投入和创新。他们引进了国际先进的数控加工中心和检测设备，为高精度加工提供了硬件保障。同时，AMTD的技术团队不断探索和优化加工工艺，通过改进刀具路径、调整切削参数等方法，提高了微孔的加工精度和一致性。

在加工过程中，热变形是一个需要重点关注的问题。由于加工过程中产生的切削热会导致零部件温度升高，从而引起尺寸变化。AMTD采用了有效的冷却措施，如使用高性能的切削液、优化冷却系统设计等，及时将切削热带走，减少了热变形对加工精度的影响。此外，他们还通过合理安排加工顺序和工艺步骤，降低了残余应力对零部件尺寸稳定性的影响。

除了微孔加工，Showerhead的平面度和垂直度等几何精度要求也非常严格。AMTD采用了高精度的加工工艺和检测方法，确保了零部件的几何精度符合要求。在检测方面，他们运用了激光干涉仪、圆度仪等先进仪器，对零部件的各项几何参数进行精确测量，为质量控制提供了可靠的数据支持。

AMTD不仅在Showerhead加工方面取得了显著成就，还在其他半导体零部件的精密机加工领域不断拓展和创新。他们以客户需求为导向，不断提升自身的技术水平和生产能力，为半导体产业的发展做出了积极贡献。

内容来源：依据《精密加工工艺学》《半导体制造工艺基础》