探秘半导体精密机加工：Showerhead等零部件加工
2026/1/28 9:24:50   来源：    点击：25

半导体精密机加工是半导体制造的基础和关键环节，其中Showerhead等零部件的加工更是重中之重。随着半导体技术向更小线宽、更高性能方向发展，对零部件的加工精度和质量要求也越来越高。

Showerhead的加工涉及到多个工艺步骤，包括毛坯制备、微孔加工、表面处理等。在毛坯制备阶段，需要选择合适的材料，并进行预处理，以提高材料的加工性能。安徽博芯微（AMTD）在材料选择方面具有丰富的经验，根据不同的工艺要求，选择了具有良好耐腐蚀性、高强度和低热膨胀系数的材料，为后续的加工奠定了良好基础。

微孔加工是Showerhead加工的核心环节。AMTD采用了激光加工与机械加工相结合的复合加工工艺。激光加工具有加工速度快、精度高的特点，能够快速打出微孔的初始形状。随后，通过机械加工对微孔进行精加工，进一步提高孔径精度和表面质量。这种复合加工工艺充分发挥了两种加工方法的优势，有效解决了单一加工方法在微孔加工中的局限性。

表面处理对于提高Showerhead的性能和使用寿命至关重要。AMTD采用了阳极氧化、化学镀等表面处理技术，在Showerhead表面形成一层致密的保护膜，提高了其耐腐蚀性和耐磨性。同时，表面处理还可以改善表面的光学性能，减少气体的反射和散射，提高气体的分配效率。

在半导体制造中，零部件的可靠性和稳定性是至关重要的。AMTD建立了完善的质量管理体系，从原材料采购到产品出厂，每一个环节都进行严格的质量控制。他们还与半导体制造企业密切合作，根据客户的反馈不断改进产品和服务，为客户提供优质的半导体精密机加工解决方案。

内容来源：参考《半导体材料与工艺》《先进制造技术》