半导体精密机加工：Showerhead等零部件加工的技术挑战
2026/1/28 9:27:30   来源：    点击：26

在半导体制造领域，精密机加工技术是确保产品质量和性能的关键。Showerhead等零部件作为半导体工艺中的核心组件，其加工面临着诸多技术挑战。

Showerhead的微孔数量众多且分布复杂，不同区域的微孔可能具有不同的孔径和间距要求。这就要求加工工艺具有极高的灵活性和精度。安徽博芯微（AMTD）采用了多轴联动数控加工技术，通过精确控制机床各轴的运动，实现了复杂微孔结构的高精度加工。同时，他们还开发了专用的加工软件，能够根据设计要求自动生成刀具路径，提高了加工效率和精度。

材料的特性也是影响加工的重要因素。半导体零部件常用的材料如铝合金、陶瓷等，在加工过程中容易出现脆性断裂、加工硬化等问题。AMTD针对不同材料的特性，采用了不同的加工策略。对于铝合金材料，他们优化了切削参数，选择了合适的刀具，减少了加工硬化和变形；对于陶瓷材料，采用了特种加工方法，如电火花加工、激光加工等，有效解决了其难加工的问题。

在加工过程中，质量控制是至关重要的。AMTD建立了完善的质量控制体系，从原材料检验、加工过程监控到成品检测，每一个环节都进行严格把关。他们采用了先进的在线检测技术，实时监测加工尺寸和表面质量，及时发现并解决问题。同时，还对加工后的零部件进行严格的性能测试，确保其符合半导体制造的要求。 

随着半导体技术的不断发展，对零部件的加工精度和质量要求将越来越高。AMTD将继续加大研发投入，不断创新和改进加工技术，为半导体产业提供更加优质的精密机加工解决方案。

内容来源：参考《特种加工技术》《半导体器件物理》