半导体精密机加工：Showerhead等零部件加工的深度剖析
2026/1/28 9:21:22   来源：    点击：24

在半导体制造的精密机加工领域，零部件的加工精度和质量直接决定了半导体产品的性能和良率。其中，Showerhead（气体喷淋头）作为半导体工艺腔室中的关键部件，其作用至关重要。它负责将工艺气体均匀地分配到晶圆表面，确保在沉积、刻蚀等工艺过程中气体分布的一致性，从而影响薄膜的均匀性和刻蚀的精度。

Showerhead的加工面临着诸多挑战。从结构设计上看，它通常具有复杂的微孔阵列，微孔的数量可能多达成千上万，且孔径大小、间距以及分布方式都需要精确控制。在材料方面，常见的铝合金、不锈钢等材料在加工过程中容易出现变形、加工硬化等问题，影响加工精度。此外，加工过程中的热应力、残余应力等因素也可能导致零部件尺寸的变化，进一步增加了加工难度。

安徽博芯微（AMTD）在半导体精密机加工领域有着深入的研究和实践。在Showerhead加工方面，他们采用了先进的数控加工技术。通过高精度的数控机床，配合精心设计的刀具和切削参数，实现了微孔的高精度加工。在加工过程中，AMTD严格控制切削力和切削温度，减少材料的变形和加工硬化。同时，他们还采用了在线测量技术，实时监测加工尺寸，及时调整加工参数，确保微孔的精度符合要求。

除了微孔加工，Showerhead的表面处理也是关键环节。AMTD采用了化学抛光和电化学抛光相结合的方法，有效提高了表面光洁度，减少了气体在表面的吸附和滞留，提高了气体的分配效率。此外，他们还对Showerhead进行了严格的清洗和检测，确保产品无污染、无缺陷。

在半导体制造中，除了Showerhead，还有其他一些关键零部件也需要精密机加工，如反应腔体、气体输送管道等。这些零部件同样对加工精度和质量有着严格要求。AMTD凭借其先进的技术和丰富的经验，为半导体制造企业提供了一站式的精密机加工解决方案。

内容来源：参考《半导体制造技术导论》《精密加工技术手册》